Bei Reinstmedien zählt jedes noch so kleine Detail.
Wir bauen nach Ihren Vorgaben. Wir verstehen Ihre Wünsche und Bedürfnisse, wenn es um hochreine Medien geht.
Entnahmesysteme
Entnahmesysteme für Flüssigkeiten und Prozessgase. Seit Jahren in der Halbleiter-, Faseroptischen- und Beschichtungsindustrie im Einsatz.
- Teil- oder vollautomatisierte Entnahmesysteme ermöglichen Ihnen eine sichere Handhabung Ihrer Prozessmedien
- Optimale Auslegung für die Anforderungen Ihres Prozesses
- Unterbrechungs- und blasenfreie Versorgung
- Vollständige Entleerung der Transportbehälter
- Entnahmesysteme für viele Medien und Gebindegrößen realisierbar
- Optional ist eine Aufbereitung Ihrer Prozessmedien möglich (Filtration, Temperierung, Druckregelung, Rezirkulation etc.)
Typische Medien
Flüssigkeiten (Beispiele):
- Isopropanol (IPA)
- Tetraethylortosilikat (TEOS)
- Trichlorsilan (TCS)
- Trimethylaluminium (TMA)
- Chlorwasserstoff (HCl)
- etc.
Gase:
- Silan (SiH4)
- Wasserstoff (H2)
- Inertgase (Ar, He, N2)
- etc.
Anwendungsbeispiele
- Zentralversorgung mit Chemikalien/Lösemitteln aus Transportbehältern
- Nachfüllsysteme für Prozess-/Laboranlagen
- Einzelversorgung für Anlagen
- Drainsysteme/Entsorgung (Link)
Optionen
- Filtration
- Destillation
- Phasenabscheider
- WHG-Wanne
- ATEX-konform
- Rezirkulation
Downloads
Chemikalienversorgungssystem für eine Chemikalie mit automatischer- Umschaltung (Behältergröße: 33 oder 200 Liter)pdf / 97 kB technisches_datenblatt_chemikalienzentralversorgung_1x2_rev_00.pdf
Chemikalienversorgungssystem für zwei unterschiedliche Chemikalien mit einer gemeinsamen Steuerung (Behältergröße: 200 Liter)
pdf / 95 kB technisches_datenblatt_chemikalienzentralversorgung_2x1_rev_00.pdf
