Bei Reinstmedien zählt jedes noch so kleine Detail.
Wir bauen nach Ihren Vorgaben. Wir verstehen Ihre Wünsche und Bedürfnisse, wenn es um hochreine Medien geht.
Medienheizer
Medienheizer für Reinstgase und -flüssigkeiten. Die kompakte Bauform ermöglicht den direkten Einsatz am Bestimmungsort (Point of use). Gleichmäßige, homogene Wärmeverteilung ermöglicht eine konstante und gleichmäßige Erwärmung des Mediums mit minimaler Differenztemperatur, ohne dass es zu unerwünschten "Hotspots" kommt.
Medienberührte Teile:
Edelstahl (1.4404, 1.4435, 316L)
PFA
PTFE
Heizleistung:
ab 300 W bis 12 kW (weitere Leistungsstufen auf Anfrage)
Temperaturmessung:
Typischerweise mit einem PT100
Übertemperaturschutz:
Typischerweise mit einem PT100
Optional ergänzend mit einem Übertemperaturschalter
Max. Temperaturen:
Medienabhängig bis zu 300 °C (höhere Temperaturen auf Anfrage)
Durchflussmengen (Beispiele):
Isopropanol (IPA) 500 ml/min mit einer typischen Temperaturerhöhung von 20 °C auf 75 °C
Octamethylcyclotetrasiloxan (C8H24O4Si4) OMCTS (D4) 15 kg/Std. mit einer typischen Temperaturerhöhung von 20 °C auf 180 °C
Stickstoff (N2) 300 l/min. mit einer typischen Temperaturerhöhung von 20 °C auf 180 °C
Silan (SiH4) 20 l/min mit einer typischen Temperaturerhöhung von 20 °C auf 90 °C
Steuerung:
Lieferung als OEM-Produkt zur Integration in Ihre Anlage
Alternativ inkl. kompletter Steuerung und Funktionsüberwachung
Typische Medien
TCS mit Wasserstoff (H2) als Trägergas
SiCl4 mit O2
GeCl4 mit O2
POCl3 mit O2
TMA mit N2
Trisilan mit H2
Wasser mit N2
Anwendungsbeispiele
Aufheizen von Gasen oder Flüssigkeiten zur Optimierung der Prozessqualität
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