Für die bestmögliche Darstellung der Website wird empfohlen, JavaScript zu aktivieren. Gehen Sie hierzu einfach in die Einstellungen Ihres Browsers.

Bei Reinst­medien zählt jedes noch so klein­e Detail.

Wir bauen nach Ihren Vorgaben. Wir verstehen Ihre Wünsche und Bedürfnisse, wenn es um hochreine Medien geht.


Typische Medien

  • TCS mit Wasserstoff (H2) als Trägergas
  • SiCl4 mit O2
  • GeCl4 mit O2
  • POCl3 mit O2
  • TMA mit N2
  • Trisilan mit H2
  • Wasser mit N2

Anwendungsbeispiele

  • Aufheizen von Gasen oder Flüssigkeiten zur Optimierung der Prozessqualität

Optionen

  • Inkl. Steuerung
  • Zusätzlicher Übertemperaturschalter
  • Doppelte Leitungsführung zur Leckageerkennung
  • ATEX-konform